產品資料
半導體制造應用臺式非接觸磁場測量高斯計
產品名稱: 半導體制造應用臺式非接觸磁場測量高斯計
產品型號: F71
產品特點: 半導體制造應用臺式非接觸磁場測量高斯計半導體制造應用 · 臺式 · 高斯/特斯拉 · 非接觸磁場0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采樣 · 重量 2.1 kg · 5 年壽命
半導體制造應用臺式非接觸磁場測量高斯計 的詳細介紹
半導體制造應用臺式非接觸磁場測量高斯計
半導體制造應用臺式非接觸磁場測量高斯計
半導體制造應用 · 臺式 · 高斯/特斯拉 · 非接觸磁場
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采樣 · 重量 2.1 kg · 5 年壽命
一、產品定位
- 半導體制造應用：離子注入、MOCVD、磁控濺射、磁夾具、晶圓搬運
- 臺式高斯計/特斯拉計：非接觸磁場測量，0.1 mG – 35 T，臺式 2.1 kg
- F71 系列：0.1 mG – 35 T，0.01 % 精度，1 MHz 采樣，5 年壽命
二、核心技術參數（F71）
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 測量范圍 | 0.1 mG – 35 T（全范圍） |
| 精度 | 0.01 %（0.01 % RDG） |
| 分辨率 | 0.1 mG（0.1 mG，16 bit） |
| 采樣率 | 1 MHz（1 MHz，實時） |
| 頻率范圍 | DC – 50 kHz（AC 磁場） |
| 溫度系數 | < 10 ppm/°C（-10 – 60 ℃） |
| 探頭接口 | BNC + USB + RS-485（實時） |
| 真空兼容 | ≤ 1×10?? Pa（真空版探頭） |
| 電源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，2.1 kg |
| 壽命 | 5 年（探頭 + 主機） |
三、功能亮點
- 0.1 mG – 35 T 全范圍：從地球磁場到 35 T 全范圍，半導體磁場全覆蓋
- 0.01 % 超高精度：0.01 % RDG，磁場重復性 ≤ 0.01 mG
- 1 MHz 高速采樣：1 MHz 實時采樣，適合快速磁場變化
- ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無泄漏
- 2.1 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動，實驗室即用
- 5 年壽命：探頭 + 主機，5 年免維護
四、典型應用系統
半導體磁控濺射┌─ 真空腔體 ─┐│ │磁場← F71 ← 真空饋通 BNC│ │└─ PLC/DCS ────┘- 磁場 0.1 T – 1 T，0.01 % 精度，1 MHz 實時
- RS-485 實時輸出，PLC 閉環控制
五、實測數據（半導體驗證）
- 真空：1×10?? Pa，25 ℃
- F71：
- 磁場 0.1 T（±0.01 %）
- 采樣 1 MHz（1 MHz）
- 壽命 5 年（連續運行）
六、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|---|
| F71-VAC | 真空版（≤1×10?? Pa） |
| F71-AIR | 大氣版（標準） |
| F71-BNC | BNC 探頭（標準） |
| F71-RS485 | RS-485 輸出（標準） |
七、維護與可靠性
- 探頭：5 年壽命，免維護
- BNC：年漂移 < 0.1 %，無需校準
- 真空饋通：每月清潔一次
- 整機 2 年質保，10 年配件保障
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