超高真空表面分析裝置用無(wú)油真空泵
超高真空表面分析裝置用無(wú)油真空泵
Canon anelva 912-7125 是一款離子泵,標(biāo)稱(chēng)抽速 20 L/s(對(duì)氮?dú)猓ぷ鞣秶s 1×10?1 Pa 到 1×10?? Pa,啟動(dòng)壓力需低于 1.3 Pa。泵體入口為 φ70 ICF,內(nèi)部容積 1.4 L,重量約 10.5 kg,標(biāo)稱(chēng)可烘烤溫度 250 ℃。該泵不使用油,依靠冷陰極放電和鈦濺射吸氣,運(yùn)行時(shí)不產(chǎn)生振動(dòng),適用于表面分析、電鏡等需要清潔真空的環(huán)境
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