產品資料
數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵
產品名稱: 數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵
產品型號: UTM-1400FW
產品特點: 數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵日本 ULVAC 愛發科 UTM-1400FW 屬于「UTM-FW 系列」數字磁懸浮型復合渦輪分子泵，主打“大流量＋寬量程“排氣，定位在中-高負荷工藝（干法刻蝕、CVD、磁控濺射等）主抽或對輕-重混合氣體做高抽速排氣。額定抽速（N?）：1490 L/s（VG250 法蘭，
數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵 的詳細介紹
數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵
數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵
日本 ULVAC 愛發科 UTM-1400FW 屬于「UTM-FW 系列」數字磁懸浮型復合渦輪分子泵，主打"大流量＋寬量程"排氣，定位在中-高負荷工藝（干法刻蝕、CVD、磁控濺射等）主抽或對輕-重混合氣體做高抽速排氣。綜合各道 2025 年仍在發布的規格表，可歸納如下核心信息：
一、主要性能參數
- 額定抽速（N?）：1490 L/s（VG250 法蘭，無保護網）
- 極限壓力：<10?? Pa（配推薦前級泵，23 ℃空載）
- 最大允許前級背壓：約 80 Pa（FW 系列設計背壓高于傳統機型，可配更小前級泵）
- 壓縮比：N?＞1×101?，H?≈ 2×10?
- 可變速范圍：25 % – 100 %（數字控制，自動跟蹤負載）
- 冷卻方式：水冷（內置水道，水流量 2 L/min，25 ℃）
- 允許全方向安裝，不受磁懸浮軸承角度限制
二、結構與技術特點
- 五軸主動磁浮軸承
- 轉子 100 % 無接觸、無油、無脂，理論上免維護 10 萬小時
- 自帶斷電再生發電(Back-EMF)功能，停電時利用轉子動能供電，維持懸浮至安全停機，無需更換電池
- 復合級段設計
- 上部多段軸流渦輪＋下部 Holweck/螺紋牽引級，兼顧高壓縮比與大通量
- 內表面可選 Ni-P+DLC、陽極氧化或特殊陶瓷涂層，提高抗鹵素/含氟工藝腐蝕能力（訂貨代碼 -HC）
- 數字控制 & 診斷
- RS-485/UL-NET 接口，可遠程讀取轉速、電流、振動、溫度等 10 余項實時數據
日本 ULVAC 愛發科 UTM-1400FW 屬于「UTM-FW 系列」數字磁懸浮型復合渦輪分子泵，主打"大流量＋寬量程"排氣，定位在中-高負荷工藝（干法刻蝕、CVD、磁控濺射等）主抽或對輕-重混合氣體做高抽速排氣。綜合各渠道 2025 年仍在發布的規格表，可歸納如下核心信息：
一、主要性能參數
- 額定抽速（N?）：1490 L/s（VG250 法蘭，無保護網）
- 極限壓力：<10?? Pa（配推薦前級泵，23 ℃空載）
- 最大允許前級背壓：約 80 Pa（FW 系列設計背壓高于傳統機型，可配更小前級泵）
- 壓縮比：N?＞1×101?，H?≈ 2×10?
- 可變速范圍：25 % – 100 %（數字控制，自動跟蹤負載）
- 冷卻方式：水冷（內置水道，水流量 2 L/min，25 ℃）
- 允許全方向安裝，不受磁懸浮軸承角度限制
二、結構與技術特點
- 五軸主動磁浮軸承
- 轉子 100 % 無接觸、無油、無脂，理論上免維護 10 萬小時
- 自帶斷電再生發電(Back-EMF)功能，停電時利用轉子動能供電，維持懸浮至安全停機，無需更換電池
- 復合級段設計
- 上部多段軸流渦輪＋下部 Holweck/螺紋牽引級，兼顧高壓縮比與大通量
- 內表面可選 Ni-P+DLC、陽極氧化或特殊陶瓷涂層，提高抗鹵素/含氟工藝腐蝕能力（訂貨代碼 -HC）
- 數字控制 & 診斷
- RS-485/UL-NET 接口，可遠程讀取轉速、電流、振動、溫度等 10 余項實時數據
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