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半導體制造測量超微量濃度監測水分計
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產品名稱:
半導體制造測量超微量濃度監測水分計
產品型號:
Falcon Trace系列
產品特點:
半導體制造測量超微量濃度監測水分計小型尺寸:采用直徑為3.3毫米的壓電水晶球,使得設備體積小巧。高靈敏度測量:能夠按指令測量ppmv或ppbv級別的微量水分。快速測量:使用10nm厚的敏感膜,測量時間小于1秒或小于30秒。
半導體制造測量超微量濃度監測水分計
的詳細介紹
半導體制造測量超微量濃度監測水分計
半導體制造測量超微量濃度監測水分計
小型尺寸
:采用直徑為3.3毫米的壓電水晶球,使得設備體積小巧。
高靈敏度測量
:能夠按指令測量ppmv或ppbv級別的微量水分。
快速測量
:使用10nm厚的敏感膜,測量時間小于1秒或小于30秒。
彈性表面波(SAW)技術
:利用交叉狀電極(IDT:Inter Digital Transducer)在表面產生彈性波,對小球赤道上噴涂的感應膜的輕微變化做出反應,實現高靈敏度傳感。
應用優勢
:適合各種測量應用,配備功能系列,實現傳感器單元的小型化。高靈敏度且范圍寬,即使微量的水也能檢測出。高速檢測利用厚度僅為10nm的感應膜,實現的高速檢測。實時控制對難以控制的水含量進行實時控制。
實時監測
:響應速度極快,可實時監測含水量變化,可測量含水量和背景氣體成分分析兩項
。
精確測量
:氣體中的水濃度可以精確測量到1ppb(十億分之一)的水平
。
這些特點使得Falcon Trace系列水分計在半導體制造、蓄電池制造、工業煤氣制造等領域有著廣泛的應用。
小型尺寸
:采用直徑為3.3毫米的壓電水晶球,使得設備體積小巧
。
高靈敏度測量
:能夠按指令測量ppmv或ppbv級別的微量水分
。
快速測量
:使用10nm厚的敏感膜,測量時間小于1秒或小于30秒
。
彈性表面波(SAW)技術
:利用交叉狀電極(IDT:Inter Digital Transducer)在表面產生彈性波,對小球赤道上噴涂的感應膜的輕微變化做出反應,實現高靈敏度傳感
。
應用優勢
:適合各種測量應用,配備功能系列,實現傳感器單元的小型化
。高靈敏度且范圍寬,即使微量的水也能檢測出
。高速檢測利用厚度僅為10nm的感應膜,實現的高速檢測
。實時控制對難以控制的水含量進行實時控制
。
實時監測
:響應速度極快,可實時監測含水量變化,可測量含水量和背景氣體成分分析兩項
。
精確測量
:氣體中的水濃度可以精確測量到1ppb(十億分之一)的水平
。
這些特點使得Falcon Trace系列水分計在半導體制造、蓄電池制造、工業煤氣制造等領域有著廣泛的應用
。
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